幾種掃描電鏡sem的比較

光鏡（OM）的出現，開(kāi)辟了微觀(guān)視野。1939年德國人B.Borris和E.Ruska推出第一臺商業(yè)透射電鏡（TEM)，分辨率提高到亞微米范圍。透射電鏡與光鏡有許多類(lèi)同之處，例如：光源、分辨率、放大倍率、透鏡、像差、衍射等光學(xué)術(shù)語(yǔ)均通用。兩者之間的差異有幾個(gè)方面，透射電鏡是利用高能短波長(cháng)電子束照明樣品代替光鏡使用的可見(jiàn)光，掃描電鏡sem利用電磁透鏡組合構成電子光學(xué)成像系統，現代透射電鏡放大倍率可高達數十萬(wàn)倍，分辨率優(yōu)于0.2nm。到20世紀60年代，第一臺商用掃描電鏡（SEM）由英國Cambridge科學(xué)儀器公司推出。如圖所示，熒光顯示屏6英寸，分辨率50nm，電子系統全部使用電子管，其成像原理與上述兩種系統不同。圖為三種顯微鏡的光路系統。

實(shí)驗室中常用的光鏡，例如：金相或雙目體視顯微鏡，雖然可以觀(guān)察大塊樣品，但分辨率、放大倍率和景深都較低。透射電鏡分辨率高，但樣品制備要求苛刻，使其在應用上受到較大的限制。掃描電鏡sem功能齊全，使用方便，彌補了光學(xué)顯微鏡和透射電鏡的不足，又兼有兩者的優(yōu)點(diǎn)，在各領(lǐng)域和多學(xué)科中獲得廣泛應用。掃描電鏡sem利用精細聚焦電子束照射在樣品表面，該電子束可以是靜止或在樣品表面作光柵掃描。在這個(gè)過(guò)程中，電子束與樣品相互作用產(chǎn)生各種信號，其中包括二次電子、背散射電子、俄歇電子、特征X射線(xiàn)和不同能量的光子等，這些信號來(lái)自樣品中的特定區域，分別利用探測器接收，可以提供樣品的各種信息，用于研究材料的微觀(guān)形貌、晶體學(xué)特征和微區化學(xué)成分。