（1)樣品制備簡(jiǎn)單

這是相對透射電鏡而言的。在德國蔡司掃描電鏡中，導電樣品只要尺寸大小適于樣品臺安裝，可以直接觀(guān)察，不必進(jìn)行特別制備。非導電樣品通過(guò)表面鍍導電膜層處理即可。近年可變壓力掃描電鏡（VPSEM）和環(huán)境掃描電鏡（SEM）的發(fā)展、采用差分真空系統，使樣品周?chē)恼婵斩缺３州^低或可變，樣品不論干濕，例如含水的動(dòng)植物樣品或絕緣體均可以直接觀(guān)察，大大拓寬了掃描電鏡的應用范圍。

（2）綜合分析能力強

德國蔡司掃描電鏡可以安裝多種附件，分別檢測不同的信號，提供樣品的相關(guān)信息。德國蔡司掃描電鏡不單純是微觀(guān)放大系統，已經(jīng)變成一臺具有多種功能的分析儀器。能譜儀（EDS)和波譜儀（WDS）是最常用的附件，用于檢測樣品出射的特征X射線(xiàn)，提供材料化學(xué)成分的定性或定量分析結果。安裝電子背散射衍射系統（EBSD)，檢測樣品出射的背散射電子，用于表征晶體樣品的結晶學(xué)特性。利用樣品拉伸臺，對材料施加應力，可以在拉伸過(guò)程中觀(guān)察材料動(dòng)態(tài)應變特性，這是研究金屬和高分子材料的一種必要手段。

(3)操作容易

現代德國蔡司掃描電鏡均由計算機控制，自動(dòng)化程度高，各種操作參數和條件均保持在最佳值，使用者只要通過(guò)初步訓練即可以很快上手，利用鼠標操作各種功能。圖像或成分檢測均提供數字化結果，存入光盤(pán)或閃盤(pán)中，可以在任何一臺計算機上使用各種圖像軟件進(jìn)行處理。這也是掃描電鏡使用越來(lái)越普遍的原因之一。為現代場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡和能譜儀，為現代常規掃描電鏡。