隨著(zhù)科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，掃描電子顯微技術(shù)和X射線(xiàn)微區分析已成為檢測物質(zhì)性能的重要手段。我國目前已擁有相當數量的掃描電鏡和能譜儀，今后將會(huì )有更多的單位裝備這類(lèi)先進(jìn)儀器。用于金屬、陶瓷、高分子、水泥、半導體、化工、礦產(chǎn)、紙張、食品等材料的顯微形貌觀(guān)察、相組織與晶體結構分析、微區化學(xué)成分檢測等，對零部件的失效分析、納米或復合新材料的表征，是不可替代的設備。電子顯微分析應用隊伍也在不斷壯大，均需要有合適的參考書(shū)籍以深入了解掃描電鏡和能譜儀的物理本質(zhì)、工作原理、主要結構和實(shí)際應用。

本文包含了上述基本內容，另外，對近年來(lái)電子顯微分析技術(shù)的新進(jìn)展，如低電壓操作、可變壓力、環(huán)境掃描、電子背散射衍射、硅漂移探測器等，均做了詳實(shí)的介紹。對于掃描電鏡和能譜儀的應用和樣品制備技術(shù)，根據實(shí)踐經(jīng)驗提供切實(shí)可行的指導和建議。本書(shū)對于儀器使用、學(xué)生培養、科研工作上水平都是非常必要的。本文為適合不同專(zhuān)業(yè)和水平的讀者使用，盡量減少繁瑣的理論細節和數學(xué)推導，力求深入淺出地闡明問(wèn)題，并結合多年的工作經(jīng)驗，

在掃描電鏡和能譜儀應用方面提供行之有效的建議。本書(shū)不僅適合作為高校教材，而且對于工礦、企業(yè)和公司等用戶(hù)也是一本技術(shù)性和實(shí)用性強的專(zhuān)業(yè)參考。