?sem掃描電鏡的原理是依據電子與物質(zhì)的相互作用，掃描電鏡從原理上講就是利用聚焦得非常細的高能電子束在試樣上掃描，激發(fā)出各種物理信息。通過(guò)對這些信息的接收、放大和顯示成像，獲得測試試樣表面形貌的觀(guān)察。
??sem是一種電子顯微鏡，中文名為掃描電子顯微鏡，通過(guò)用聚焦電子束掃描樣品的表面而產(chǎn)生樣品表面的圖像。它由電子光學(xué)系統、信號收集及顯示系統、真空系統和電源系統組成，應用于生物、醫學(xué)、材料和化學(xué)等領(lǐng)域。掃描電鏡（SEM）是介于透射電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種微觀(guān)形貌觀(guān)察手段，可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進(jìn)行微觀(guān)成像。掃描電鏡的優(yōu)點(diǎn)是，有較高的放大倍數，20-20萬(wàn)倍之間連續可調；有很大的景深，視野大，成像富有立體感，可直接觀(guān)察各種試樣凹凸不平表面的細微結構；試樣制備簡(jiǎn)單。 目前的掃描電鏡都配有X射線(xiàn)能譜儀裝置，這樣可以同時(shí)進(jìn)行顯微組織形貌的觀(guān)察和微區成分分析，因此它是當今十分有用的科學(xué)研究?jì)x器。