X射線(xiàn)熒光光譜儀是基于X射線(xiàn)熒光光譜法而進(jìn)行分析的一種常用的分析儀器。X射線(xiàn)（又稱(chēng)倫琴射線(xiàn)或X光）是一種波長(cháng)范圍在0.01~10nm之間的電磁輻射形式，是德國科學(xué)家倫琴在1895年進(jìn)行陰極射線(xiàn)的研究時(shí)發(fā)現的一種新的射線(xiàn)"。隨后，1896年法國科學(xué)教喬治發(fā)現X射線(xiàn)熒光。

      1948年，Friedman和Briks應用蓋革計數器研制出波長(cháng)色散X射線(xiàn)熒光光譜儀，1969年美國海軍實(shí)驗室成功研制第一臺能量色散X射線(xiàn)熒光（EDXRF）光譜儀,自此，X射線(xiàn)熒光光譜法進(jìn)入蓬勃發(fā)展階段，特別是隨著(zhù)材料科學(xué)、電子技術(shù)和計算機的飛速發(fā)展，X射線(xiàn)熒光光譜儀分析技術(shù)及其軟件的不斷開(kāi)發(fā)，使得EDXRFX射線(xiàn)熒光光譜儀發(fā)展逐步完善，無(wú)論是硬件還是軟件的開(kāi)發(fā)與波長(cháng)色散X射線(xiàn)熒光（WDXRF）光譜儀基本同步。

    特點(diǎn)：

    1.是一種真正意義上的無(wú)損意義上的無(wú)損檢測方法，具有不污染環(huán)境及低耗能等優(yōu)點(diǎn)，被測樣品在測量前后，無(wú)論其化學(xué)成分、重量、形態(tài)等都保持不變，特別適合在現場(chǎng)或在線(xiàn)分析，能實(shí)時(shí)獲取多種數據。

    2.分析速度快，由于一般無(wú)需進(jìn)行樣品預處理，甚至無(wú)需樣品的制備，X射線(xiàn)熒光光譜儀可以對大量的樣品進(jìn)行快速預篩選分析。一般情況下，檢測一個(gè)樣品需要3min左右。

    3.應用范圍廣，可以同時(shí)測定樣品多種元素，元素可檢測含量范圍從10負六次方至100%，廣泛用于地質(zhì)、冶金、化工、材料、石油、醫療和考古等諸多領(lǐng)域，能量色散X射線(xiàn)熒光光譜儀已成為一種強有力的定性和半定量的分析測試技術(shù)。EDXRF儀器的發(fā)展，使X射線(xiàn)熒光光譜儀方法更有效，其應用領(lǐng)域更加廣泛

    4.X射線(xiàn)熒光光譜儀的不足之處是：分析精度相對較差，一般約為3%~5%對相當一些元素的測定靈敏度還不能讓人滿(mǎn)意