最早的直讀光譜儀產(chǎn)生在第二次世界大戰末期，戰爭中建造了大量的飛機，而飛機用特殊鋼、鋁鎂合金等金屬材料的濕法檢測工作的繁瑣分析，迫使一些人著(zhù)手研究多條光譜線(xiàn)同時(shí)測定的光譜儀，并于1944年美國應用實(shí)驗室（ARL）研制成第一臺光電直讀光譜儀的樣機，1956年該公司直讀光譜儀中使用真空技術(shù)，可同時(shí)測定金屬元素和C/P/S等非金屬元素。隨著(zhù)計算機、電子技術(shù)的發(fā)展，到20世紀70年代直讀光譜儀幾乎100%采用計算機控制，這不僅提高了分析精度和速度，而且對分析結果的數據處理和分析過(guò)程控制實(shí)現自動(dòng)化。80年代后期，以德國斯派克為代表的國外多個(gè)公司的光電直讀光譜儀相繼進(jìn)入我國的分析儀器市場(chǎng)

    20世紀90年代初期，冶金系統已成功用上全自動(dòng)直讀光譜儀。所謂全自動(dòng)，是將光譜儀及其附屬設備，如切樣機、磨樣機、機械手等安裝在同一個(gè)大箱子內，組成一個(gè)移動(dòng)式光譜實(shí)驗室。此種全自動(dòng)光譜儀多放置在煉鋼爐旁。工作時(shí)，只需要人工見(jiàn)樣品置于一個(gè)專(zhuān)用窗口的抽屜內。以后的全部過(guò)程無(wú)需人工干預，全有計算機的預定程序自動(dòng)完成。

    目前商品化的儀器主要是固定多道式光電直讀光譜儀，一般采用高刻線(xiàn)的光柵或中階梯光柵與棱鏡交叉色散量?jì)煞N方法來(lái)提高儀器的色散率及分辨率。進(jìn)入21世紀以來(lái)，儀器的數字控制技術(shù)已經(jīng)取代模擬控制技術(shù)，固體檢測器（如CCD/CID）有取代PMT的趨勢也越來(lái)越明顯，使儀器向小型化、精密化發(fā)展。