X射線(xiàn)熒光儀器（X Ray Fluorescence，XRF）又稱(chēng)為X射線(xiàn)熒光光譜法，是確定物質(zhì)中微量元素的種類(lèi)和含量的一種方法。它是指根據原子在原級X射線(xiàn)或粒子的激發(fā)下發(fā)射出的次級的特征X射線(xiàn)（X射線(xiàn)熒光）的波長(cháng)和長(cháng)度，對元素進(jìn)行定性和定量的分析方法。

X射線(xiàn)熒光儀器是指波長(cháng)為0.01~10nm的電磁波，1895年倫琴（W. C. Roentgen）在使用放電管工作時(shí)發(fā)現了X射線(xiàn)，因為這一個(gè)重大發(fā)現，倫琴于1901年獲得了諾貝爾獎。1913年莫斯萊（H. G. Moseley）建立了X射線(xiàn)波長(cháng)與原子序數的關(guān)系，奠定了X射線(xiàn)熒光光譜分析的基礎，第一臺波長(cháng)色散X射線(xiàn)熒光分析儀是在1948年由H.費里德曼（H. Friedmann）和L.S.伯克斯（L. S. Birks）制造出來(lái)的，20世紀50年代后X射線(xiàn)熒光分析法開(kāi)始迅速發(fā)展，隨后其在分析領(lǐng)域的地位到了60年代得以確立。

X射線(xiàn)熒光儀器根據能量分辨的原理不同，可分為波長(cháng)色散型、能量色散X射線(xiàn)型和非色散型。一臺典型的X射線(xiàn)熒光（XRF）儀器由激發(fā)源（X射線(xiàn)管）和探測系統構成。X射線(xiàn)管作為激發(fā)源，產(chǎn)生入射X射線(xiàn)（一次X射線(xiàn)）用于激發(fā)被測樣品，受激發(fā)的樣品中的每一種元素都會(huì )放射出二次X射線(xiàn)。由于不同的元素所放射出的二次X射線(xiàn)具有特定的能量特性或波長(cháng)特性，探測系統會(huì )根據二次X射線(xiàn)的特征測量這些放射出來(lái)的二次X射線(xiàn)的能量及數量。最后探測系統所收集到的信息經(jīng)儀器軟件轉換成樣品中各種元素的種類(lèi)及含量。經(jīng)歷了幾十年的發(fā)展，現已有單一的波長(cháng)色散XRF譜儀發(fā)展成為波長(cháng)色散、能量色散、全反射、同步輻射、質(zhì)子X(jué)RF譜儀和熒光分析儀等一個(gè)大家族。

利用XRF，元素周期表中絕大部分元素均可測量。作為一種分析手段，XRF具有其優(yōu)越的地方：分析速度快、非破壞分析、分析精密度高、制樣簡(jiǎn)單等。波長(cháng)色散和能量色散XRF光譜儀對元素的檢測范圍為10-5%~100%，對水樣的分析可達10-9數量級；全反射XRF的檢測限已達到10-9~10-12g。同時(shí)也存在一些缺點(diǎn)：不能絕對分析，定量分析需要標樣、對輕元素的靈敏度低、易受相互元素干擾等。

我國XRF分析技術(shù)的建立始于20世紀50年代末60年代初。最近三十多年來(lái)，為滿(mǎn)足生產(chǎn)喝科研工作的需要，引進(jìn)了眾多的一流XRF譜儀，制定了大量有效的試樣分析方法，有力地推動(dòng)了我國X射線(xiàn)熒光光譜分析的發(fā)展。X射線(xiàn)經(jīng)歷了幾十年的不斷探索、不斷進(jìn)步，現已廣泛應用于冶金、地質(zhì)、有色、建材、商檢、環(huán)保、衛生等各個(gè)領(lǐng)域。例如，在某些國家和地區可能會(huì )存在許多有危險性的有毒金屬，如何快速判斷是否存在這些污染物并辨別其含量就可以利用到手持式X射線(xiàn)熒光分析儀。在農業(yè)方面，利用DELTA手持式XRF分析儀不僅可以快速探測出這些有毒金屬，還可以確定諸如鈣、鎂、磷、鉀等營(yíng)養物質(zhì)和肥料的存在，為農業(yè)的耕作提供了便利。