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直讀光譜儀入射光路結構

發(fā)表日期:2017/02/08 瀏覽次數:

    由圖可知,入射光路除入射狹縫(25um寬)之外還有球面反射鏡。它的作用是將兩個(gè)樣品臺上激發(fā)的光譜亮度全部反射到入射狹縫。為了提高紫外光200nm以下元素的反射能力,凹面反射鏡表面需涂氟化鎂,人射狹縫和球面反射鏡裝在真空室內。在圖中,光路中具有兩個(gè)反射鏡,其中之一是在右樣品臺激發(fā)樣品時(shí),使反射鏡進(jìn)入光路,汞燈反射鏡退出光路,將激發(fā)光亮射到球面放射鏡上。然后進(jìn)入入射狹縫到達凹面光柵分光Hg反射鏡是供狹縫掃描時(shí)用的,當左樣品架激發(fā)樣品時(shí),進(jìn)入曝光階段,Hg反射鏡將退出光路,使左樣品架激發(fā)光引入球面反射鏡,進(jìn)入人射狹縫到達凹面光柵進(jìn)行分光。


   光路中兩個(gè)反射鏡區域處于非真空狀態(tài)。對于短紫外線(xiàn)的元素(C、P、S、As、B、Sn等等)這是一個(gè)致命的問(wèn)題。這個(gè)區域中存在氧氣、空氣、水汽將200nm以下波段的輻射吸收掉。光電直讀光譜儀無(wú)法分析這些元素的含量。氧的吸收曲線(xiàn)195nm的輻射都有吸收,而在140nm附近吸收最激烈。

   在兩個(gè)反射鏡的區域內,密封相當重要。Hg燈亮光通過(guò)石英窗玻璃進(jìn)入反射鏡,兩個(gè)樣品臺通過(guò)滑板上裝的石英玻璃進(jìn)行密封,平時(shí)這個(gè)區域總有靜態(tài)氬存在,即使不分析樣品期間,所有的樣品激發(fā)的亮度和Hg燈亮度通過(guò)大石英窗進(jìn)人光學(xué)室。由于貝爾德采用這種人射光路的結構,存在的最大問(wèn)題是氬氣消耗量大。目前,國內光電直讀光譜儀生產(chǎn)廠(chǎng)家大部分采用所示的分光系統。

    在人射光路部分通過(guò)聚焦鏡和樣品臺隔離。分光系統全部在真空室內。樣品臺到聚焦鏡這段距離可以做得很密封。氬氣沖洗從這里進(jìn)入,然后到達電極架的燃燒腔。由于樣品臺燃燒腔內存在一個(gè)反向氬氣壓力,靜態(tài)氬的消耗相當小。這種結構的分光系統采用基體元素例如Fe*R等進(jìn)行狹縫掃描(光譜儀使用前的光學(xué)系統校準)。沒(méi)有Hg燈進(jìn)行狹縫掃描。斯派克光電直讀光譜儀采用手動(dòng)的方法微微改變人射狹縫的位置到達出射狹縫上譜線(xiàn)極大位置。德國斯派克光電直讀光譜儀采用直線(xiàn)電機控制入射狹縫系統,軟件自動(dòng)掃描,這樣可以克服手動(dòng)和機械結構帶來(lái)的調整誤差。


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