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掃描電鏡圖像處理

發(fā)表日期:2016/12/14 瀏覽次數:

當在觀(guān)察某個(gè)深孔內部細節時(shí),孔內是黑的,而周邊襯度合適。起因是內孔產(chǎn)生的大量信號電子被孔壁吸收,只有小部分跑出達到探測器,這個(gè)弱信號按常規放大,人眼看不見(jiàn)。提高圖象襯度和亮度,孔內細節如果能看清,其周邊就過(guò)亮了、人眼對圖像襯度的察覺(jué)是有限的。圖象處理的目的就是在探測器的后續階段、通過(guò)各種圖象處理技術(shù)改善圖象襯度,使其更適合人眼觀(guān)察。圖像處理有模擬法和數字法,其中包括直方圖處理、襯度反轉、微分放大、非線(xiàn)性放大(Y control)、信號混合、Y調制、降噪(noise ·eduction)等。非線(xiàn)性放大和降噪比較常用。


仍然以觀(guān)察孔洞為例,通常由于二次電子邊緣效應,造成空洞邊緣很亮,而孔內又很黑,兩處的細節均看不清。當選用某個(gè)非線(xiàn)性放大值后,為看清孔洞內細節而提高亮度時(shí),孔的邊緣亮度又被抑制,是放大器按了曲線(xiàn)處理信號的功能。


電鏡是掃描成像,自然會(huì )有隨機噪聲疊加在圖僚上,若幀掃時(shí)間短,噪聲更嚴重,圖上覆蓋著(zhù)不規則閃動(dòng)的白點(diǎn),細節看不清,有如“霧里看花”。對圖像進(jìn)行降噪處理可以濾除噪聲。其方法有多種,如幀平均、像素平均、線(xiàn)積分、卷積濾波、卡爾曼濾波等。因為是計算機控制的實(shí)時(shí)處理,過(guò)程很快,所以使用時(shí)可根據圖像細節任意選用,看哪種方法好。


圖像處理是對圖襯度、亮度或噪聲進(jìn)行加工,最后獲得一幅人眼可以識別和接受的改善圖像。應注意,如果樣品本身的自然襯度不存在,或者細節清晰度不好,后期應用的各種處理技術(shù)均不會(huì )增加任何信息。

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